| ECR微波等离子体源离子渗氮 |
| |
| 引用本文： | 张仲麟,雷明凯.ECR微波等离子体源离子渗氮[J].金属热处理,1996(10):14-17. |
| |
| 作者姓名： | 张仲麟 雷明凯 |
| |
| 作者单位： | 大连理工大学 |
| |
| 摘 要： | 研究了一种新的低温渗氮方法－－电子回旋共振微波等离子体源离子渗氮。对纯铁、４５负和３５ＣｒＭｏ钢试样在１５０￣３５０℃进行渗氮处理，测定了渗氮层的硬度和晶体结构，结果表明，纯铁在低于２００℃的温度即可获得连续分布的表面氮化物层，３５ＣｒＭｏ钢在低于２５０℃温度处理也可获得离好渗氮层。
|
| 关 键 词： | 离子渗氮 等离子体源 热处理 ECR 微波 |
Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma Source Ion Nitriding |
| |
| Zhang Zhonglin,Lei Mingkai,Yuan Lijiang,Kong Changjing.Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma Source Ion Nitriding[J].Heat Treatment of Metals,1996(10):14-17. |
| |
| Authors: | Zhang Zhonglin Lei Mingkai Yuan Lijiang Kong Changjing |
| |
| Affiliation: | Zhang Zhonglin;Lei Mingkai;Yuan Lijiang;Kong Changjing |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | s:ion nitriding ion implantation plasma source |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
