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超精密加工机械基础部件—空气静压轴承

引用本文：	张心明,关海欧.超精密加工机械基础部件—空气静压轴承[J].光学精密机械,1997(3):9-10.

作者姓名：	张心明关海欧

摘要：
关键词：	静压轴承超精密加工机械空气轴承
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