| 硅元素对TiN薄膜性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 刘景辉,吴连波,赵贺.硅元素对TiN薄膜性能的影响[J].热加工工艺,2005(3):60-61. |
| |
| 作者姓名： | 刘景辉 吴连波 赵贺 |
| |
| 作者单位： | 长春工业大学,材料学院,吉林,长春,130012 |
| |
| 摘 要： | 在TiN中加人不固溶于TiN晶格的Si元素，提高薄膜的硬度、韧性和弹性回复，从而增加了刀模具的使用寿命。
|
| 关 键 词： | Si元素 Ti—Si—N薄膜 超硬度 超耐磨性 |
| 文章编号： | 1001-3814(2005)03-0060-02 |
| 修稿时间： | 2004年12月22 |
Influence of Si Element on Thin Film of TiN |
| |
| LIU Jing-hui,WU Lian-bo,ZHAO He.Influence of Si Element on Thin Film of TiN[J].Hot Working Technology,2005(3):60-61. |
| |
| Authors: | LIU Jing-hui WU Lian-bo ZHAO He |
| |
| Abstract: | The properties of Hardness,toughness and spring can be strengthened by Adding Si element to the thin film of TiN.Thererore,tool life is prolonged. |
| |
| Keywords: | Si element thin film of Ti-Si-N super hardness super wear resistance |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
