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| Ta-Si-N纳米复合薄膜中的界面结构与力学性能 | |
| 作者姓名： | 刘学杰 曾海清 任元 |
| 作者单位： | 内蒙古科技大学机械工程学院 内蒙古包头014010;内蒙古科技大学机械工程学院 内蒙古包头014010;内蒙古科技大学机械工程学院 内蒙古包头014010 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;内蒙古自治区自然科学基金;内蒙古自治区自然科学基金 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | Ta-Si-N纳米复合表面 第一性原理 界面结构 力学性能 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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