| 基于Petri网的组合设备建模与调度综述 |
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| 引用本文： | 袁凤连, 黄波, 王际鹏, 潘春荣. 基于Petri网的组合设备建模与调度综述. 自动化学报, 2023, 49(5): 929−948 doi: 10.16383/j.aas.c210951 |
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| 作者姓名： | 袁凤连 黄波 王际鹏 潘春荣 |
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| 作者单位： | 1.南京理工大学计算机科学与工程学院 南京 210094;;2.湖北工业大学机械工程学院 武汉 430068;;3.江西理工大学机电工程学院 赣州 341000 |
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| 摘 要： | 组合设备是半导体晶圆制造的核心装备, 其调度与控制优化是半导体制造领域极具挑战性的课题. Petri网因其强大的建模能力和简约的图形化表达优势, 被广泛地应用于组合设备的建模与调度. 对基于Petri网的组合设备建模与调度方法进行综述, 归纳总结了组合设备的结构类型、晶圆流模式、调度策略及Petri网建模方法, 并系统阐述组合设备的7类典型调度问题, 包括驻留时间约束、作业时间波动、晶圆重入加工、多品种晶圆加工、加工模块(Process module, PM)故障、PM清洗和组合设备群. 最后, 讨论了当前组合设备调度存在的挑战及后续可能的研究方向.
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| 关 键 词： | 晶圆制造 Petri网 组合设备 建模 调度 |
| 收稿时间： | 2021-10-08 |
A Survey of Modeling and Scheduling of Cluster Tools Based on Petri Nets |
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| Yuan Feng-Lian, Huang Bo, Wang Ji-Peng, Pan Chun-Rong. A survey of modeling and scheduling of cluster tools based on Petri nets. Acta Automatica Sinica, 2023, 49(5): 929−948 doi: 10.16383/j.aas.c210951 |
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| Authors: | YUAN Feng-Lian HUANG Bo WANG Ji-Peng PAN Chun-Rong |
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| Affiliation: | 1. School of Computer Science and Engineering, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094;;2. School of Mechanical Engineering, Hubei University of Technology, Wuhan 430068;;3. School of Mechanical and Electrical Engineering, Jiangxi University of Science and Technology, Ganzhou 341000 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Wafer fabrication Petri net cluster tool modeling scheduling |
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