| 硅压阻式压力传感器时漂研究 |
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| 引用本文： | 黄晓因,段美英,鲁绍坤,周宏. 硅压阻式压力传感器时漂研究[J]. 电子器件, 2005, 28(1): 59-62 |
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| 作者姓名： | 黄晓因 段美英 鲁绍坤 周宏 |
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| 作者单位： | 云南农业大学计算机科学系,昆明,650201;齐齐哈尔科达敏感器件厂,哈尔滨,161006 |
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| 摘 要： | 压力传感器的时漂普遍存在，一直找不到有效的方法来解决。针对因参数退化引起的时漂，采用加速老化试验，得到了压力传感器的失效模式及失效比例。分析了输入／输出特性曲线形状及其随时间和温度的变化规律。提出一种用标准压力对传感器进行实时标定进而获得实时输入／输出特性的方法，标定的实现由程序控制。经验证对比，实时输入／输出特性达到很高的精确度。在0～45kPa压力范围、-10～45℃温度范围内，根据其计算的压力值与实际压力比较，最大偏差为0．098kPa，最大相对误差0．92％。
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| 关 键 词： | 压力传感器 时漂 输入/输出特性 参数退化 标定 |
| 文章编号： | 1005-9490(2005)01-0059-04 |
Study on Time-Drift for Silicon Piezoresistive Pressure Sensor |
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| HUANG Xiao-yin,DUAN Mei-ying,LU Shao-kun,ZHOU Hong. Study on Time-Drift for Silicon Piezoresistive Pressure Sensor[J]. Journal of Electron Devices, 2005, 28(1): 59-62 |
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| Authors: | HUANG Xiao-yin DUAN Mei-ying LU Shao-kun ZHOU Hong |
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| Keywords: | pressure sensor time-drift input/output characteristic parameter degeneration calibration |
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