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一种修正子孔径拼接中系统误差的方法
引用本文:周游,王青,刘世杰.一种修正子孔径拼接中系统误差的方法[J].激光与光电子学进展,2014,51(5):51202-113.
作者姓名:周游  王青  刘世杰
作者单位:周游:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
王青:南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
刘世杰:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
基金项目:国家自然科学基金(11104295)
摘    要:通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究,提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上(水平和垂直方向)的面形数据,再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面,即运用Zernike多项式(离焦和像散项)对误差修正波面进行低阶二次曲面的拟合,并在子孔径拼接测量中进行实时修正。实验证明,该方法能够消除由干涉仪参考平晶所引起的系统误差对拼接的影响,有效提高拼接波面的精度。

关 键 词:子孔径拼接  系统误差  三面互检  Zernike多项式拟合
收稿时间:2013/12/19

A Method to Modify Systematic Errors in the Stitching
Zhou You;Wang Qing;Liu Shijie.A Method to Modify Systematic Errors in the Stitching[J].Laser & Optoelectronics Progress,2014,51(5):51202-113.
Authors:Zhou You;Wang Qing;Liu Shijie
Affiliation:Zhou You;Wang Qing;Liu Shijie;Key Laboratory of High Power Laser Materials, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science;School of Electronic and Optical Technology, Nanjing University of Science and Technology;
Abstract:
Keywords:sub-aperture stitching  system errors  three mutual inspection  Zernike polynomial fitting
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