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纳米粉体制程在线粒径测量系统的研发
引用本文:陈亮嘉,纪柏宏,张合,钟清枝.纳米粉体制程在线粒径测量系统的研发[J].过程工程学报,2006,6(Z2):298-301.
作者姓名:陈亮嘉  纪柏宏  张合  钟清枝
作者单位:1. 台北科技大学自动化科技研究所,台湾,台北
2. 台北科技大学机电整合研究所,台湾,台北
摘    要:发展了一套在线光纤式动态光散射粉体粒径测量系统,作为纳米颗粒制程粒径参数测量与分析.工业上对纳米粉体性质均一性(Uniformity)要求较高,为了获得在线制备纳米粉体颗粒的精确粒径大小与分布,本研究由激光动态光散射(Dynamic Light Scattering,DLS)原理,利用光纤探头方式,研制了一套在线粉体取样与粒径测量系统,针对目前台北科大自行研发的真空潜伏纳米流体制程(SANSS)进行了系统整合与测试.本研究针对100 nm标准粒径大小的聚苯乙烯(Polystyrene)粉体进行系统测量能力评估,确定了研发系统测量准确度(Accuracy)与重现性(Repeatability).实验结果显示,研发系统测量的平均粒径最大误差值在8%以下,初步确定测量系统可有效地监控纳米流体制程,提供纳米粉体制程的重要在线信息.

关 键 词:纳米粉体  粒径测量  在线测量  动态光散射  光学测量
文章编号:1009-606X(2006)S2-0298-04
修稿时间:2006年9月17日

Development of an On-line Nanoparticle Size Measurement System for Process Monitoring of Nanoparticle Synthesis
Liang-Chia Chen,Bao-Hau Gin,Ho Chang,Tsing-Tshih Tsung.Development of an On-line Nanoparticle Size Measurement System for Process Monitoring of Nanoparticle Synthesis[J].Chinese Journal of Process Engineering,2006,6(Z2):298-301.
Authors:Liang-Chia Chen  Bao-Hau Gin  Ho Chang  Tsing-Tshih Tsung
Abstract:
Keywords:
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