| 微机电光调制器技术研究 |
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| 引用本文： | 柯菁华,茅惠兵,张杰伟,赖宗声,郑筱莉.微机电光调制器技术研究[J].微细加工技术,2000(2):45-49. |
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| 作者姓名： | 柯菁华 茅惠兵 张杰伟 赖宗声 郑筱莉 |
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| 作者单位： | 华东师范大学电子系,华东师范大学量子光学开放实验室,上海,200062 |
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| 基金项目： | 上海市优秀学科代头人,"微机械光调制技术"资助项目(97×D14009);上海市科委1999年度重点科技攻关资助课题. |
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| 摘 要： | 调制器是光纤系统的重要器件。硅基微机械光调制技术使用常规硅平面工艺方法,制作较为简单、成本较低。同时,又具有高数据速率（几Ｍｂ／ｓ）和宽频带（１．３μｍ～１．５μｍ）性能,满足日益增长的波分复用（ＷＤＭ）全光网络发展的需要。讨论了有关硅基微机械式光调技术的基本原理和一些相关的制作方法,制作了多层膜光反射调制样品。
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| 关 键 词： | 微机械系统 光调制器 波分复用 |
| 文章编号： | 1003-8213(2000)02-0009-06 |
| 修稿时间： | 1999-11-12 |
Research on Micro-Electro-Mechanical Optical Modulator Technology |
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| KE Jing-hua,MAO Hui-bing,ZHANG Jie-wei,LAI Zong-sheng,ZHENG Xiao-li.Research on Micro-Electro-Mechanical Optical Modulator Technology[J].Microfabrication Technology,2000(2):45-49. |
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| Authors: | KE Jing-hua MAO Hui-bing ZHANG Jie-wei LAI Zong-sheng ZHENG Xiao-li |
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| Affiliation: | KE Jing-hua
,MAO Hui-bing
,ZHANG Jie-wei
,LAI Zong-sheng
,ZHENG Xiao-li
;(Dept of Electronics, Lab for Quantum Optics, East China Normal Univ. Shanghai 200062, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) optical modulator planar silicon processing techniques Mechanical Anti-Reflection Switch (MARS) |
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