| 退火对氧化锌薄膜结晶性能的影响 |
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| 引用本文： | 杜晓松,曾雄,杨邦朝,王涛,谢光忠,蒋亚东. 退火对氧化锌薄膜结晶性能的影响[J]. 功能材料, 2008, 39(5): 797-798 |
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| 作者姓名： | 杜晓松 曾雄 杨邦朝 王涛 谢光忠 蒋亚东 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在(001)硅片上制备了ZnO薄膜,利用X射线衍射对薄膜的制备工艺进行了研究,结果表明,基板温度、溅射功率、氩氧比、总气压在一个较大的范围内变化时都可实现薄膜的c轴择优取向生长.随后对薄膜进行了空气退火并利用摇摆曲线表征薄膜的结晶质量,摇摆曲线的半高宽随退火温度的提高而减小,700℃退火后FWHM为2.5°.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 退火 摇摆曲线 X射线衍射 |
| 文章编号： | 1001-9731(2008)05-0797-02 |
| 修稿时间： | 2007-10-19 |
The effect of annealing on the crystallinity of ZnO films |
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| DU Xiao-song,ZENG Xiong,YANG Bang-chao,WANG Tao,XIE Guang-zhong,JIANG Ya-dong. The effect of annealing on the crystallinity of ZnO films[J]. Journal of Functional Materials, 2008, 39(5): 797-798 |
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| Authors: | DU Xiao-song ZENG Xiong YANG Bang-chao WANG Tao XIE Guang-zhong JIANG Ya-dong |
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