| 一种大容性负载的压电陶瓷驱动电源设计 |
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| 引用本文： | 钱存,张文涛,杜浩,熊显名.一种大容性负载的压电陶瓷驱动电源设计[J].压电与声光,2019,41(5):752-755. |
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| 作者姓名： | 钱存 张文涛 杜浩 熊显名 |
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| 作者单位： | （桂林电子科技大学 广西光电信息处理重点实验室, 广西 桂林 541004） |
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| 基金项目： | 国家重点专项基金资助项目(2017ZX02101007 003); 国家自然科学基金资助项目(61565004) |
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| 摘 要： | 压电陶瓷作为微定位系统的动能器件,可达到纳米级的位移精度。针对位移驱动型压电陶瓷的大容性负载特点,基于PA92设计了一种高精度、大电流的动态驱动电源。通过电容超前反馈、隔离电阻结合反馈及相位补偿等方式提高了电源的稳定性。分析结果表明,该电源能有效应用于纳米级定位系统中,在大容性负载时具有良好的动态性能,输出电压精度可达0.5 mV。
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 PA92 驱动电源 精密定位 超前补偿 大容性负载 |
Design of a Piezoelectric Ceramic Drive Power Supply With Large Capacitive Load |
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| QIAN Cun,ZHANG Wentao,DU Hao,XIONG Xianming.Design of a Piezoelectric Ceramic Drive Power Supply With Large Capacitive Load[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2019,41(5):752-755. |
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| Authors: | QIAN Cun ZHANG Wentao DU Hao XIONG Xianming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric ceramic PA92 drive power precision positioning lead compensation large capacitive load |
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