| BaTiO3薄膜的Sol-Gel制备工艺及性能 |
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| 引用本文： | 梁鸿东,周方桥.BaTiO3薄膜的Sol-Gel制备工艺及性能[J].哈尔滨理工大学学报,2002,7(6):55-56,59. |
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| 作者姓名： | 梁鸿东 周方桥 |
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| 作者单位： | 广州大学,理学院物理系,广东,广州,510405 |
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| 基金项目： | 广州市教育局科学研究基金项目 |
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| 摘 要： | 利用溶胶－凝胶法（Sol-Gel)在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了BaTiO3薄膜，研究了不同退火条件下BaTiO3薄膜的晶相结构及表面形貌，测试了BaTiO3薄膜的电学性能。发现经900℃、120min退火处理的BaTiO3薄膜的介电－温度（εr-T)关系具有明显的弥散相变特性。
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| 关 键 词： | 制备工艺 溶胶－凝胶法 BaTiO3薄膜 弥散相变 钛酸钡薄膜 电学性能 表面形貌 铁电薄膜 |
| 文章编号： | 1007-2683(2002)06-0055-02 |
Preparation and Properties of Barium Titanate Thin Films by Sol-Gel Process |
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| LIANG Hong - dong,ZHOU Fan - qiao.Preparation and Properties of Barium Titanate Thin Films by Sol-Gel Process[J].Journal of Harbin University of Science and Technology,2002,7(6):55-56,59. |
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| Authors: | LIANG Hong - dong ZHOU Fan - qiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol-Gel process BaTiO_3 thin films diffuse phase transition |
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