| 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性 |
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| 引用本文： | 李定,熊胜明. 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性[J]. 中国激光, 2015, 42(1): 107002 |
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| 作者姓名： | 李定 熊胜明 |
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| 作者单位： | 李定:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209中国科学院大学, 北京 100039
熊胜明:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
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| 摘 要： | 以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7μm高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7μm反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良的环境稳定性。
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| 关 键 词： | 薄膜 氧化物薄膜 离子束溅射 中红外 水吸收 |
| 收稿时间： | 2014-08-15 |
Mid-Infrared Properties of Oxide Coatings Prepared by Ion Beam Sputtering Deposition |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin films oxide thin films ion beam sputtering mid-infrared water absorption |
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