| Nb_5N_6 microbolometer太赫兹检测器 |
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| 引用本文： | 涂学凑,毛庆凯,徐磊,孙振龙,康琳,金飚兵,陈健,吴培亨.Nb_5N_6 microbolometer太赫兹检测器[J].南京大学学报(自然科学版),2014(3). |
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| 作者姓名： | 涂学凑 毛庆凯 徐磊 孙振龙 康琳 金飚兵 陈健 吴培亨 |
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| 作者单位： | 南京大学超导电子学研究所;南京大学; |
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| 基金项目： | 国家973项目(2014CB339800,2011CBA00100);国家863项目(20l1AA010204);江苏省电磁波先进调控技术重点实验室支助项目 |
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| 摘 要： | 随着太赫兹科学技术的快速发展,太赫兹检测器件的性能也在不断提高,为微弱信号的检测和太赫兹成像奠定了坚实的基础.本文针对Nb5N6薄膜材料,研制了Nb5N6microbolometer阵列芯片及其基于这种芯片的太赫兹准光型接收机.单个Nb5N6 microbolometer的直流电压响应最高达760V/W,对应的直流噪声等效功率(NEP)为1.3×10-11 W/√Hz.在实际系统中,由串联结构的Nb5N6 microbolometer构成的准光接收机,光学电压响应率高达428V/W,对应的光学噪声等效功率(NEP)为2.3×10-11 W/√Hz.Nb5N6 microbolometer太赫兹检测器室温工作、工艺简单、检测灵敏度高,响应时间快,便于集成超大规模阵列,为太赫兹信号检测提供了一种有效的途径.
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| 关 键 词： | NbN薄膜 microbolometer 太赫兹检测器 太赫兹成像 |
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