| 复杂微结构三维形貌测量方法的研究 |
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| 引用本文： | 胡春光,胡晓东,徐临燕,郭彤,胡小唐.复杂微结构三维形貌测量方法的研究[J].光电子．激光,2006,17(1):98-101. |
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| 作者姓名： | 胡春光 胡晓东 徐临燕 郭彤 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 高比容电子铝箔的研究开发与应用项目;天津市科技计划 |
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| 摘 要： | 微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉陶建立二维结构模板指导相位展开的新方法，它不仅适用于静态测量，而且能应用于在动态测量中，特别是微机电系统（MEMS）器件的运动测量。以微谐振器为测试器件，对其运动梳齿结构进行了静态三维形貌测量，实验的离面理论测量精度优于0．5nm，测试结构内部的面内理论测量精度优于0．5μm，而边缘尺寸因受到边缘提取方法的影响，其测量精度仅在μm量级。对该方法的缺点和发展方向做了探讨。
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| 关 键 词： | 微结构 三维形貌测量 相移显微干涉术 二维结构模板 生长算法 |
| 文章编号： | 1005-0086（2006）01-0098-04 |
| 收稿时间： | 2005-04-13 |
| 修稿时间： | 2005-04-132005-08-03 |
Research on 3-D Profile Measurement Method for Complex Micro-structures |
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| HU Chun-guang,HU Xiao-dong,XU Lin-yan,GUO Tong,HU Xiao-tang.Research on 3-D Profile Measurement Method for Complex Micro-structures[J].Journal of Optoelectronics·laser,2006,17(1):98-101. |
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| Authors: | HU Chun-guang HU Xiao-dong XU Lin-yan GUO Tong HU Xiao-tang |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University, Tianjin 300072,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-structures 3-D profile measurement phase-shifting microscopic interferometry 2-Dstructure template growth algorithm |
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