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| 一种新型的声表面波有机气体检测方法 | |
| 引用本文： | 戴恩光,何振华.一种新型的声表面波有机气体检测方法[J].云南大学学报(自然科学版),1997,19(1):100-103. |
| 作者姓名： | 戴恩光 何振华 |
| 作者单位： | [1]清华大学精密仪器与机械学系 [2]中科院电子所传感技术重点实验室 |
| 摘 要： | 为进一步提高声表面波气体传感器的性能，这里研制一种全新的，采用声表面波谐振器的传感器，该种传感器基于声表面波延迟线的传感器相比，具有低噪声和高灵敏度等特性。经实验验证，该方法对研制谐振式传感器提供了一个新的技术平台。 |
| 关 键 词： | 有机物 检测 声表面波传感器 气体传感器 |
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