| 微电子机械系统 |
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| 引用本文： | 王跃林,苏以撒.微电子机械系统[J].电子学报,1995,23(10):37-42. |
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| 作者姓名： | 王跃林 苏以撒 |
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| 作者单位： | 浙江大学，香港科技大学 |
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| 摘 要： | 本文对国外微电子机械系统的研究现况作了评述，介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微机械 |
The Microelectromechanical Systems |
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| Wang Yaolin.The Microelectromechanical Systems[J].Acta Electronica Sinica,1995,23(10):37-42. |
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| Authors: | Wang Yaolin |
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| Abstract: | A survey of current international research on MEMS is presented. The principal technology involved in MEMS and its industrial application are introduced. We have also analyzed MEMS related research conducted by leading international institutes and some suggestions are proposed for future development of MEMS technology in China. |
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| Keywords: | MEMS Micromachines Sensors Actuators |
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