| 几种高反膜设计新方法 |
| |
| 引用本文： | 干蜀毅,刘正坤,徐向东,洪义麟,刘颖,周洪军,霍同林,付绍军. 几种高反膜设计新方法[J]. 真空科学与技术学报, 2008, 28(6) |
| |
| 作者姓名： | 干蜀毅 刘正坤 徐向东 洪义麟 刘颖 周洪军 霍同林 付绍军 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科技大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;合肥工业大学真空教研室,合肥,230009
2. 中国科技大学国家同步辐射实验室,合肥,230029 |
| |
| 摘 要： | 现代科技的发展对增反膜提出的要求越来越高,具体表现在两个方面:一是要求在现有基础上进一步提高反射率,拓宽高反膜带宽,二是将高反膜的波长向短波方向延伸至真空紫外~X射线。本文总结了近年来出现的一些思路独特的增反膜设计新方法,包括Needle设计法、Staggered broad-band reflecting multilayers法、Sub-quarterwave multilayers法、Layered synthetic mi-crostructure/quasi-periodic multilayers法、Layer by layer法、带阻挡层的Layer by layer法及Wide range multilayer设计法。给出了这些设计方法的思路,以真空紫外~X射线反射膜为侧重点。对增反膜设计、制作过程中尚存的一些重大问题也进行了阐述。
|
| 关 键 词： | 反射膜 高反膜 膜系设计 真空紫外 X射线 |
Review of Highly Reflecting Layer Fabrication Technologies |
| |
| Gan Shuyi,Liu Zhengkun,Xu Xiangdong,Hong Yilin,Liu Ying,Zhou Hongjun,Huo Tonglin,Fu Shaojun. Review of Highly Reflecting Layer Fabrication Technologies[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2008, 28(6) |
| |
| Authors: | Gan Shuyi Liu Zhengkun Xu Xiangdong Hong Yilin Liu Ying Zhou Hongjun Huo Tonglin Fu Shaojun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
