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| 微机械材料杨氏模量的测量 | |
| 引用本文： | 顾利忠,苏菲,赵颉,张以恒.微机械材料杨氏模量的测量[J].光学精密工程,2000,8(3):242-245. |
| 作者姓名： | 顾利忠 苏菲 赵颉 张以恒 |
| 作者单位： | 清华大学自动化系，北京 100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，69885005， |
| 摘 要： | 利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的杨氏模量进行测量.这是随微机械技术的产生而提出的一个新课题.文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法.在此基础上,提出了用声激励谐振法和瞬态激励法来测量微机械材料的杨氏模量,这两种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点. |
| 关 键 词： | 微机械材料 杨氏模量 声激励 瞬态激励 |
| 文章编号： | 1004-924X(2000)03-0242-04 |
| 收稿时间： | 1999-12-05 |
| 修稿时间： | 1999年12月5日 |
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