一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统 |
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引用本文: | 陈嘟,周肇飞,黄伟. 一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统[J]. 四川大学学报(工程科学版), 2003, 35(1): 73-76 |
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作者姓名: | 陈嘟 周肇飞 黄伟 |
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作者单位: | 四川大学,制造科学与工程学院,四川,成都,610065 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(59235123),国家重点实验室资助项目(4320401) |
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摘 要: | 分析了一种同轴式激光轮廓测量系统的工作原理,开发出了一套基于WINDOWS的测量控制软件,使它具有自动控制、数据采集、信息处理及结果输出等功能,可以用三维图形直观显示被测量物体表面微观形貌、进行多种表面粗糙度参数计算。此测量系统的分辨力优于0.1nm,重复性2σ优于1.2nm。
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关 键 词: | 亚纳米级分辨力 同轴式激光轮廓测量系统 轮廓仪 测量控制 数据处理 工作原理 超精密加工 |
文章编号: | 1009-3087(2003)01-0073-04 |
修稿时间: | 2002-06-18 |
Measuring System of Sub-nanometer Level Resolution Coaxal Interference Laser Profilometer |
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Abstract: | |
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Keywords: | micro-profiling system profilometer measuring control and data process |
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