陶瓷衬底上淀积薄膜α—Fe2O3材料的微结构的气敏特性研究 |
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作者姓名: | 柴常春 郭振琪 |
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作者单位: | [1]西安电子科技大学微电子学研究所 [2]西北大学现代分析测试中心 |
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摘 要: | 本文用常压化学气相沉积(APCVD)工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超粒结构的α-Fe3O3气敏薄膜,对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和扫描电子显微分析(SEM),研究了淀积工艺条件对α-F32O3薄膜的粒度的影响,气敏特性研究表明,用APCVD工艺轩的超微粒α-Fe2O3薄膜对烟雾呈现出很高的灵敏度和良好的选择性。这种薄膜可用于感烟探测器。
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关 键 词: | 微结构 氧化铁 气敏性 陶瓷薄膜 衬底 淀积 |
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