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| 氧化温度对空气中一次烧成SrTiO_3晶界层电容器的显微结构及电性能的影响 | |
| 作者姓名： | 唐晓霞 范福康 吕忆农 |
| 作者单位： | 南京化工学院(唐晓霞，范福康)，南京化工学院(吕忆农) |
| 摘 要： | 采用空气中的一次烧成工艺,研究了氧化温度对SrTiO_3.晶界层电容器试样的介电常数ε、绝缘电阻率p及介质损耗tgδ的影响;借助于TEM及STEM对试样进行了分析,观察到试样中有直线型和锯齿型两种不同类型的晶界及存在于多个晶粒交汇处的Ti_nO_(2n-1)第二晶相;提出了不同氧化温度下的晶界结构模型,较好地解释了试样介电常数随氧化温度的降低而单调增大的变化规律. |
| 关 键 词： | SrTiO_3 晶界层电容器 氧化温度 一次烧成 显微结构 |
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