用于半导体工业方面的氟树脂制品 |
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引用本文: | 森嘉昭,陈建国.用于半导体工业方面的氟树脂制品[J].有机氟工业,1982(1). |
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作者姓名: | 森嘉昭 陈建国 |
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作者单位: | 电材课(森嘉昭) |
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摘 要: | 前言自半导体问世以来,在仅仅不满30年的时间里,半导体装置、半导体设备已成为生活中必不可缺的东西了。据说得到迅速普及的原因是由于半导体IC(集成电路)技术的惊人发展和随着大量生产而来的不断降价。就是今天,半导体装置的IC化的发展势头还仍然很猛其制造工艺和功能正在不断地改善和扩大。
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