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| 变截面矩形槽牵引分子泵二维抽气理论的研究 | |
| 作者姓名： | 王晓冬 朱岳 |
| 作者单位： | 东北工学院，东北工学院，东北工学院，中科院北京真空物理实验室，中科院北京真空物理实验室，中科院北京真空物理实验室 沈阳市 110014，沈阳市 110014，沈阳市 110014 |
| 摘 要： | 本文对牵引分子泵抽气机理进行了深入分析，考虑了通道返流和工作间隙泄漏对泵抽气性能的影响。采用有限差分法对通道内气体分子宏观运动速度分布进行了计算，提 出了牵引分子泵二维抽气理论。 |
| 关 键 词： | 分子泵 牵引型 抽气 电真空 |
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