GaAs光阴极高温热清洗北大核心CSCD |
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作者姓名: | 肖德鑫李凯潘清 |
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作者单位: | 1.中国工程物理研究院应用电子学研究所621900; |
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基金项目: | 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ130018) |
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摘 要: | GaAs光阴极在进行Cs-O激活前,激活层表面必须达到原子级洁净。最常用且最有效的洁净方法是高温热清洗法。然而,在热清洗过程中对处在真空系统中的光阴极表面温度进行精确测量却是非常困难的。采用ANSYS软件对GaAs光阴极热清洗过程进行热分析,得到光阴极表面的温度分布,并讨论该温度分布情况下激活得到光阴极的量子效率分布。
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关 键 词: | 砷化镓光阴极 热清洗 量子效率 热分析 模拟计算 |
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