| 基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统 |
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| 引用本文： | 谢冀江,高飞,潘其坤,杨贵龙,邵春雷,张来明,郭劲.基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统[J].中国光学与应用光学文摘,2011(6). |
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| 作者姓名： | 谢冀江 高飞 潘其坤 杨贵龙 邵春雷 张来明 郭劲 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室;中国科学院研究生院; |
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| 基金项目： | 中科院知识创新工程资助项目 |
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| 摘 要： | 利用Nd∶KGW激光器,采用光束扫描宽化技术和掩模微缩成像方法研制了用于微打标及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系统。系统采用计算机打印的塑料胶片或液晶作掩模,光束扫描面积为(有效掩模面积)30 mm×30 mm。微缩成像系统的缩小倍率分别为8～10倍(f=100 mm透镜)和15～20倍(f=50 mm透镜)。对该系统的加工尺寸和加工精度进行了分析。实验结果表明:系统达到的最小标刻宽度和加工图形精度均为10μm,与分析结果一致。系统的单次加工深度为0.07～0.1μm,最大加工深度为200μm,可满足工业微加工技术的基本要求。
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| 关 键 词： | Nd∶KGW激光器 微加工 掩模 |
Laser mask micromachining system based on beam-scanning widening technique |
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| XIE Ji-jiang,GAO Fei,PAN Qi-kun,YANG Gui-long,SHAO Chun-lei,ZHANG Lai-ming,GUO Jin.Laser mask micromachining system based on beam-scanning widening technique[J].Chinese Optics and Applied Optics Abstracts,2011(6). |
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| Authors: | XIE Ji-jiang GAO Fei PAN Qi-kun YANG Gui-long SHAO Chun-lei ZHANG Lai-ming GUO Jin |
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| Affiliation: | XIE Ji-jiang1,GAO Fei1,2,PAN Qi-kun1,YANG Gui-long1,SHAO Chun-lei1,ZHANG Lai-ming1,GUO Jin1 (1.State Key Laboratory of Laser Interaction with Matter,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China,2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Nd:KGW laser micromachining mask |
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