| 射频等离子体制备类金刚石薄膜及其表征 |
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| 引用本文： | 谢鹏,汪建华,王传新,王升高,满卫东,熊礼威. 射频等离子体制备类金刚石薄膜及其表征[J]. 武汉工程大学学报, 2009, 31(3) |
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| 作者姓名： | 谢鹏 汪建华 王传新 王升高 满卫东 熊礼威 |
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| 作者单位： | 1. 武汉工程大学材料学院,湖北,武汉,430074
2. 武汉工程大学材料学院,湖北,武汉,430074;湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，湖北省教育厅创新团队项目，湖北省教育厅Q20081505项目 |
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| 摘 要： | 采用射频等离子体技术,以CH4和H2为反应气体,在单晶硅片和载玻玻璃片上成功制备出了高质量的类金刚石薄膜.采用扫描电镜、原子力显微镜、Raman光谱、红外光谱、显微硬度计表征了类金刚石薄膜的表面形貌、微观结构、光学性能和复合硬度.结果表明,制备出的类金刚石薄膜表面十分平整光滑,表面粗糙度极低,平均粗糙度Ra为0.492 nm;薄膜中含有sp2,sp3杂化键,具有典型的类金刚石结构特征;光学透过率比较高,薄膜的复合硬度可以高达507.3 kgf/cm2.
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| 关 键 词： | 射频等离子体 类金刚石薄膜 粗糙度 拉曼光谱 显微硬度 |
Preparation and characteristics of diamond-like carbon films prepared by RF-PECVD |
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| XIE Peng,WANG Jian-hua,WANG Chuan-xin,WANG Sheng-gao,MAN Wei-dong,XIONG Li-wei. Preparation and characteristics of diamond-like carbon films prepared by RF-PECVD[J]. Journal of Wuhan Institute of Chemical Technology, 2009, 31(3) |
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| Authors: | XIE Peng WANG Jian-hua WANG Chuan-xin WANG Sheng-gao MAN Wei-dong XIONG Li-wei |
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