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823×592元内线转移CCD图像传感器
引用本文:杨洪,雷仁方,郑渝,吕玉冰,翁雪涛.823×592元内线转移CCD图像传感器[J].半导体光电,2015,36(6):905-908.
作者姓名:杨洪  雷仁方  郑渝  吕玉冰  翁雪涛
作者单位:重庆光电技术研究所,重庆,400060
摘    要:采用三层多晶硅、埋沟、双层金属工艺研制了1/2英寸823×592、8.3μm×8.3 μm内线转移CCD,该器件设计制作了纵向抗晕结构,实现了内线转移器件光晕抑制.该器件水平驱动频率可达30 MHz,峰值响应波长位于550 nm,动态范围62.6 dB.

关 键 词:内线转移CCD  光电特性  纵向抗晕
收稿时间:2014/10/29 0:00:00

An Interline CCD Image Sensor with 823 × 592 Pixels
Abstract:
Keywords:interline CCD    photoelectric characteristics    vertical-blooming
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