| 剪切式压电喷头多致动壁结构制备及特性分析 |
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| 引用本文： | 冯金磊,李东,孔全存,李勇,赵翔.剪切式压电喷头多致动壁结构制备及特性分析[J].压电与声光,2019,41(1):135-140. |
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| 作者姓名： | 冯金磊 李东 孔全存 李勇 赵翔 |
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| 作者单位： | （1.北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院，现代测控技术教育部重点实验室，北京 100192；
2.清华大学 机械工程系，精密/超精密制造装备及控制北京市重点实验室，北京 100084；3.北京科技大学 机械工程学院，北京 100083） |
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| 基金项目： | 苏州 清华创新引领行动专项基金资助项目(2016SZ0304)；国家自然科学基金资助项目(51675054、51775302)；北京市自然科学基金资助项目(3172013)；北京市教委科技发展计划面上基金资助项目(KM201711232005) |
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| 摘 要： | 剪切式压电喷头多致动壁结构是压电喷头的核心部件,针对国外在这一领域的长期垄断,通过对致动壁的特性分析,设计了剪切式压电喷头多致动壁结构,并探索出一种改进的制备工艺。通过极化、切割、二次极化、镀电极和焊线工艺,制备出长、宽、高分别为9.5mm、70μm、400μm的致动壁和液体腔。在有限元分析软件COMSOL下构建致动壁结构仿真模型并进行测试实验。结果显示,壁间电压在0～60V内,致动壁振动位移与其施加电压大小呈近似线性关系,仿真与实验与结果平均偏差约为4nm,最大偏差6.4nm,两者吻合度达87%,符合喷墨要求,为剪切式喷头的研制提供了应用可行性。
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| 关 键 词： | 剪切式压电喷头 多致动壁结构 特性分析 制备工艺 COMSOL仿真 测试 |
Preparation and Characteristic Analysis for Multi actuating Wall Structure of Shear Mode Piezoelectric Inkjet Head |
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| FENG Jinlei,LI Dong,KONG Quancun,LI Yong,ZHAO Xiang.Preparation and Characteristic Analysis for Multi actuating Wall Structure of Shear Mode Piezoelectric Inkjet Head[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2019,41(1):135-140. |
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| Authors: | FENG Jinlei LI Dong KONG Quancun LI Yong ZHAO Xiang |
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| Affiliation: | (1.Key Laboratory of Modern Measurement and Control Technology of Ministry of Education, School of Instrumentation Science and Opto Electronics Engineering, Beijing Information Science and Technology University, Beijing 100192,China;
2.Beijing Key Laboratory of Precision/Ultra precision Manufacturing Equipment and Control, Dept. of Mechanical Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084,China;3.School of Mechanical Engineering, University of Science & Technology Beijing, Beijing 100083,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | shear mode piezoelectric inkjet head multi actuating wall structure characteristic analysis preparation process COMSOL simulation test |
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