| 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究 |
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| 引用本文： | 廖小华 葛杨翔 李玉和 李庆祥. 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究[J]. 仪器仪表学报, 2005, 26(8): 1119-1120 |
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| 作者姓名： | 廖小华 葛杨翔 李玉和 李庆祥 |
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| 作者单位： | 廖小华（清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084） 葛杨翔（清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084） 李玉和（清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084） 李庆祥（清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084） |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2003CB716201)资助项目子课题. |
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| 摘 要： | 电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高.为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统.初步实验表明检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求.
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| 关 键 词： | 划痕 纳米尺度 轻敲模式 外差干涉 原子力显微镜 |
Scratch Test System at Nano-scale for Superfinish Surface |
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