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| 一种机械手式上下片传输机构 | |
| 作者姓名： | 李正贤 |
| 作者单位： | 电子工业部第４５研究所 |
| 摘 要： | 一种机械手式上下片传输机构电子工业部第４５研究所李正贤自动片子传输系统是各种硅片加工设备中的一个重要组成部分，它直接体现出整机的自动化程度和可靠性。它的传输部分主要是由发送传输与接收传输两部分组成，常见的传输方式有带传输式和气垫传输式等。由于它们在传... |
| 关 键 词： | 机械手 上下片传输机构 |
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