| 磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究 |
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| 引用本文： | 段理,樊小勇,于晓晨,倪磊. 磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究[J]. 材料导报, 2010, 24(24) |
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| 作者姓名： | 段理 樊小勇 于晓晨 倪磊 |
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| 作者单位： | 长安大学材料科学与工程学院,西安710064;长安大学高性能路面国际合作研究中心,西安710064;长安大学材料科学与工程学院,西安710064;长安大学高性能路面国际合作研究中心,西安710064;长安大学材料科学与工程学院,西安710064;长安大学高性能路面国际合作研究中心,西安710064;长安大学材料科学与工程学院,西安710064;长安大学高性能路面国际合作研究中心,西安710064 |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,通过改变制备条件生长了一系列样品,样品退火后呈现P型导电特性.测量了样品的结构特性、光学性质和电学性质,实验表明薄膜厚度与淀积时间、溅射功率分别呈近似线性关系;薄膜晶体质量随溅射功率、背景气压的增加而降低;退火过程是银元素形成受主的重要环节,且退火能有效提高薄膜晶体质量,改善薄膜的光学性质和电学性质.分析了这些影响的机理和来源.
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| 关 键 词： | 溅射 银掺杂 p型ZnO薄膜 光电性能 |
Structural, Optical and Electrical Properties of ZnO: Ag Films Fabricated by Magnetron Sputtering |
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| DUAN Li,FAN Xiaoyong,YU Xiaochen,NI Lei. Structural, Optical and Electrical Properties of ZnO: Ag Films Fabricated by Magnetron Sputtering[J]. Materials Review, 2010, 24(24) |
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| Authors: | DUAN Li FAN Xiaoyong YU Xiaochen NI Lei |
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| Affiliation: | DUAN Li1,2,FAN Xiaoyong1,YU Xiaochen1,NI Lei1,2 (1 School of Materials Science and Engineering,Chang'an University,Xi'an 710064,2 High Performance Pavement Research Center,Xi'an 710064) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sputtering Ag doping p-type ZnO film optical and electrical properties |
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