| 一种新型体硅谐振加速度计 |
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| 引用本文： | 贾玉斌,郝一龙,张嵘.一种新型体硅谐振加速度计[J].半导体学报,2005,26(2). |
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| 作者姓名： | 贾玉斌 郝一龙 张嵘 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子研究所,北京,100871;清华大学精密仪器系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 设计了一种谐振加速度计.这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳.利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感.利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计,测试的灵敏度为27.3Hz/g,分辨率为167.8μg.
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| 关 键 词： | MEMS加速度计 谐振激励和敏感 体硅工艺 频率漂移 |
Bulk-Silicon Resonant Accelerometer |
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| Jia Yubin,Hao Yilong,Zhang Rong.Bulk-Silicon Resonant Accelerometer[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(2). |
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| Authors: | Jia Yubin Hao Yilong Zhang Rong |
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| Abstract: | Resonant accelerometer is designed,which includes two double-ended tuning forks,a proof mass,four-leverage system amplifying inertial force,and drive/sense combs.Each tuning fork is electrostatically actuated and sensed at resonance using comb electrodes.The device is fabricated using MEMS bulk-silicon technology,whose sensitive degree is 27.3Hz/g,and the resolution is 167.8μg. |
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| Keywords: | MEMS accelerometer resonant driving and sensing bulk-silicon process frequency shift |
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