大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究

玻璃网格板是一种相互垂直的纵、横刻线的二维线纹标准器,用来检测航测仪器、遥感仪器和各类二维坐标测量仪器的精度,因此,它的精度直接影响待检仪器的精度。结合计量圆光栅的制作工艺,详细介绍了基于光刻胶的玻璃网格板新型制作工艺,检验结果表明该种工艺制作的玻璃网格板线条均匀,280mm内刻线间距精度小于1μm。