现代微加工技术与核靶设备

现代微加工技术是制备具有微米，亚微米甚至纳米结构器件的重要手段。文章介绍了现代微加工工艺中的薄膜技术，图形技术以及刻蚀技术，根据核靶技术的发展，阐明了现代微加工技术在核靶制备领域的广阔应用前景。