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基于金刚石NV色心的微角度测量方法
引用本文:伍大锦,石振荣,李中豪,唐军,刘俊.基于金刚石NV色心的微角度测量方法[J].微纳电子技术,2023(3):422-426.
作者姓名:伍大锦  石振荣  李中豪  唐军  刘俊
作者单位:1. 中北大学仪器与电子学院微米纳米技术研究中心;2. 中北大学量子传感与精密测量山西省重点实验室
基金项目:国家自然科学基金(51635011,62103385);
摘    要:微角度检测在超高精密测量技术中有着重要的作用。研发了一种基于金刚石氮空位(NV)色心的微角度测量方法,其中NV色心作为微角度检测敏感单元,共轴磁铁作为传感单元,由于共轴磁铁和金刚石NV轴之间不同夹角下的磁场强度变化引起金刚石NV色心自旋能级波动,从而使得光学探测磁共振(ODMR)信号漂移,通过闭环频率锁定技术的实时追踪实现微角度的检测。并对微角度测量进行了理论分析和实验测试,理论和实验结果基本一致。同时,通过该方法获得了微角度传感检测的灵敏度为200 mV/deg,分辨率为10 mdeg,系统的等效角度均方根噪声为0.69 mdeg/Hz1/2。该方法为高灵敏度、高分辨率的微角度检测提供了新的手段,同时实时追踪金刚石多个NV轴,可实现姿态矢量微角度检测。

关 键 词:金刚石  氮空位(NV)色心  微角度检测  电子自旋  光学探测磁共振(ODMR)  共轴磁铁
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