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| 微波驱动的CH_3OH+H_2体系中金刚石薄膜的生长及其特性 | |
| 引用本文： | 张战,李嘉,吴兆庆,杨宗庆,王伟东,马丽莹.微波驱动的CH_3OH+H_2体系中金刚石薄膜的生长及其特性[J].金刚石与磨料磨具工程,1990(1). |
| 作者姓名： | 张战 李嘉 吴兆庆 杨宗庆 王伟东 马丽莹 |
| 作者单位： | 机电部郑州磨料磨具磨削研究所 (张战，李嘉，吴兆庆，杨宗庆，王伟东)，机电部郑州磨料磨具磨削研究所(马丽莹) |
| 摘 要： | 本文叙述了CH_3OH+H_2体系中生长金刚石薄膜的可行性,并用微波源作为加热手段制备出了直径≥25mm的金刚石膜。研究了反应条件对成膜情况的影响。 |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 化学气相沉积法 微波供热 |
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