| 改善多指HBT热稳定性的非均匀指间距技术 |
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| 引用本文： | 赵昕,张万荣,金冬月,谢红云,付强,张东晖,刘波宇,周永强.改善多指HBT热稳定性的非均匀指间距技术[J].微电子学,2011,41(4). |
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| 作者姓名： | 赵昕 张万荣 金冬月 谢红云 付强 张东晖 刘波宇 周永强 |
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| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100124 |
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| 摘 要： | 建立了多发射极指功率SiGe HBT的热电反馈模型,研究了发射极指间距的变化对多指功率SiGe HBT表面温度分布的影响.在此基础上,提出了发射极指间距的非均匀化优化技术.在不同偏置下,对具有均匀间距和非均匀间距的多指HBT各指之间的温度分布进行模拟.结果表明,具有非均匀指间距结构的SiGe HBT峰值温度明显下降,各指之间的温度分布均匀性得到加强,这是传统均匀指间距技术无法比拟的,显示了非均匀指间距优化技术的优越性.
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| 关 键 词： | SiGe 异质结双极晶体管 热稳定性 非均匀发射极指间距结构 |
Non-Uniform Emitter Spacing for Improving Thermal Stability of HBT |
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| ZHAO Xin,ZHANG Wanrong,JIN Dongyue,XIE Hongyun,FU Qiang,ZHANG Donghui,LIU Boyu,ZHOU Yongqiang.Non-Uniform Emitter Spacing for Improving Thermal Stability of HBT[J].Microelectronics,2011,41(4). |
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| Authors: | ZHAO Xin ZHANG Wanrong JIN Dongyue XIE Hongyun FU Qiang ZHANG Donghui LIU Boyu ZHOU Yongqiang |
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