| 稀土Ce2O3掺杂TiO2薄膜的结构和光学特性 |
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| 引用本文： | 汪良,李健,高燕. 稀土Ce2O3掺杂TiO2薄膜的结构和光学特性[J]. 真空, 2007, 44(6): 52-56 |
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| 作者姓名： | 汪良 李健 高燕 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学理工学院物理系,内蒙古,呼和浩特,010021 |
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| 基金项目： | 内蒙古自然科学基金;内蒙古高等学校科研项目 |
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| 摘 要： | 采用真空热蒸发法在玻璃、单晶硅衬底上制备Ce2O3掺杂TiO2薄膜，研究热处理和Ce2O3掺杂对薄膜性能的影响。结果显示，热处理可明显改善薄膜的结构和光学性能，Ce2O3掺杂可降低薄膜晶型转化温度。TiO2薄膜（玻璃衬底）经600℃热处理由锐钛矿转为金红石结构；当掺Ce2O3含量为5at％时热处理温度为500℃薄膜就已开始发生晶型转变。薄膜表面颗粒较均匀，存在程度不同的孔洞和颗粒聚集现象；掺Ce2O3后薄膜表面致密度明显增强。薄膜（玻璃衬底）的光学带隙从3．74eV降至3．60eV。
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| 关 键 词： | 真空热蒸发 TiO2薄膜 Ce2O3掺杂 结构和光学特性 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）06-0052-05 |
| 收稿时间： | 2007-03-09 |
| 修稿时间： | 2007-03-09 |
Structural and optical characteristics of TiO2 thin films doped with Ce2O3 |
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| WANG Liang,LI Jian,GAO Yan. Structural and optical characteristics of TiO2 thin films doped with Ce2O3[J]. Vacuum(China), 2007, 44(6): 52-56 |
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| Authors: | WANG Liang LI Jian GAO Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vacuum heat evaporation TiO2 thin film Ce2O3 doping structural/optical characteristics |
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