MEMS压电-磁电复合式振动能量采集器 |
| |
引用本文: | 杨杰,许卓,安坤,陈晓勇,丑修建.MEMS压电-磁电复合式振动能量采集器[J].微纳电子技术,2015(2):103-107. |
| |
作者姓名: | 杨杰 许卓 安坤 陈晓勇 丑修建 |
| |
作者单位: | 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
| |
基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(51275492,61401406);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(SQ2015AAJY1634) |
| |
摘 要: | 具有高能量输出密度的自我供电振动能量采集技术有着迫切的应用需求,是智能化MEMS器件系统发展的重要方向。研究了一种可将外界环境振动能转化为电能的MEMS压电-磁电复合振动能量采集器,其综合了压电发电和磁电发电的优势,为新型MEMS供电研究提供了新思路。利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PZT)压电功能薄膜的制备,采用MEMS加工技术完成器件四悬臂梁-中心质量块基础结构的设计和制作,结合集成封装技术实现微结构与永磁铁的微组装。测试结果表明:在一阶谐振频率247 Hz,10 g加速度激励的振动状态下,器件压电部分压电敏感单元与磁电部分电感线圈的单位体积最大有效输出电压分别为2.066×107和5.002×106 mV/cm3。
|
关 键 词: | 微机电系统(MEMS) 压电式 电磁式 振动能 能量采集器 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|