| 真空微电子荧光平板显示器件的实验研究 |
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| 引用本文： | 刘杰明 李志能. 真空微电子荧光平板显示器件的实验研究[J]. 电子器件, 1994, 17(3): 105-109 |
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| 作者姓名： | 刘杰明 李志能 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程学系 |
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| 摘 要： | 真空微电子荧光平板显示器件的实验研究刘杰明，李志能，陈秀峰（浙江大学信息与电子工程学系）关键词：真空微电子，反应离子刻蚀一、引言近十年来，随着真空微电子学的崛起，利用微细加工技术，使真空元器件集成化和高性能化已成为可能，一种新型场致发射阵列真空荧光平...
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| 关 键 词： | 反应离子刻蚀 真空微电子学 荧光平板显示 |
The Array Fabrication and Measurement of Vacuum Microelectronic Flat Display |
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| Liu Jieming,Li Zhineng,Chea Xiufeng. The Array Fabrication and Measurement of Vacuum Microelectronic Flat Display[J]. Journal of Electron Devices, 1994, 17(3): 105-109 |
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| Authors: | Liu Jieming Li Zhineng Chea Xiufeng |
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| Affiliation: | Dept.of Information and Electronic Engineering.Zhe jiang University |
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| Abstract: | The operationalprinciple of vacuum microelectronic flat display os discribed in thispaper.The ion etching technipue for fabricating the field-emitter large scale array is presented.Thefield-emitter characterisitics of the flat display have been obtasined in danymical vacuum systems. |
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| Keywords: | Vacuum microelectronics.reaction ion etching |
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