| Si基Sr1.8Ca0.2NaNb5O15薄膜的合成及光学特性研究 |
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| 引用本文： | 杨丁,尹伊.Si基Sr1.8Ca0.2NaNb5O15薄膜的合成及光学特性研究[J].光电子．激光,2014(7):1355-1362. |
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| 作者姓名： | 杨丁 尹伊 |
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| 作者单位： | 四川职业技术学院 机械工程系,四川 遂宁 629000;电子科技大学 光电信息学院, 四川 成都 610054 |
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| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费(ZYGX2012J059)和四川省教育厅重点项目(12ZA283)资助项目 (1.四川职业技术学院 机械工程系,四川 遂宁 629000； 2.电子科技大学 光电信息学院, 四川 成都 610054) |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶法,在Si(001)单晶衬底上逐层生长四方钨青铜结构的Sr1.8Ca0.2NaNb5O15(SCNN)薄膜。利用X射线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等技术研究了薄膜的微结构,结果表明,SCNN薄膜在厚度较小的状态下可呈现出明显的(001)择优取向,而随着厚度的增加择优取向受到抑制,颗粒尺寸增大,薄膜的多晶态的趋势增强。然后通过测量薄膜在400~780nm光谱范围内的反射率曲线,采用Sellmeier色散公式分析折射率非均匀性的影响,通过改进的单纯形法计算拟合出SCNN薄膜的折射率和厚度,其中厚度的结果利用SEM加以验证,而折射率的变化则与薄膜结晶态的变化保持一致。
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| 关 键 词： | Sr.Ca.NaNbO(SCNN) 铁电薄膜 择优取向 溶胶-凝胶法 单纯形法 |
| 收稿时间： | 1/8/2014 12:00:00 AM |
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