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| 增量光栅移相器 | |
| 作者姓名： | 张耀文 |
| 作者单位： | 上海微电机研究所 |
| 摘 要： | 一、概述增量光栅传感器作为长度或角度基准,在国内越来越引起各方面的注意。由于此种元件精度高、抗干扰能力强、寿命长等特点,在工业控制、空间技术、国防工程等技术领域中的应用也日渐广泛。一般说来,要求计量精度高的地方所使用的光栅传感器都必须内 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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