| 神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造 |
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| 引用本文： | 张若昕,隋晓红,裴为华,陈弘达. 神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 1404-1406,1410 |
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| 作者姓名： | 张若昕 隋晓红 裴为华 陈弘达 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 为了从中枢神经系统记录电信号,半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造.介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程.我们已经制造出15 μm厚,3 mm长,100μm宽的记录用探针,每根探针含有7个记录点,间隔120 μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD),感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等.测试结果给出了探针的强度和阻抗特性.
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| 关 键 词： | 微电极探针 表面微加工工艺 神经记录 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1404-03 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
Design and Fabrication of a Multichannel Silicon-based Microelectrode Probe for Neural Recording |
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| ZHANG Ruo-Xin,SUI Xiao-Hong,PEI Wei-Hu,CHEN Hong-Da. Design and Fabrication of a Multichannel Silicon-based Microelectrode Probe for Neural Recording[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(5): 1404-1406,1410 |
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| Authors: | ZHANG Ruo-Xin SUI Xiao-Hong PEI Wei-Hu CHEN Hong-Da |
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| Affiliation: | State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Institute of SemiconductorsChinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microelectrode probe surface-micromachining process neural recording |
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