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| IBAD MoS2—Ta复合膜的氧化行为研究 | |
| 作者姓名： | 刘仲阳 苟富君 |
| 作者单位： | [1]四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放 [2]电子科技大学 |
| 摘 要： | 用ＸＰＳ分别检测了在去离子水中浸泡１５８ｈ以及在４３０℃高温加热１ｈ的离子束辅助沉积ＭｏＳ２－Ｔａ复合膜中Ｍｏ与Ｓ元素的电子结构。发现在浸泡和４３０℃高温环境，ＭｏＳ２－Ｔａ复合膜的抗氧化特性远优于同样条件下沉积的纯ＭｏＳ２复合膜。结合ＴＥＭ，ＡＥＳ和ＸＰＳ对ＭｏＳ２－Ｔａ膜的形态，结构，组成以及元素的化学态进行的观察和分析，讨论了这种膜抗氧化性能提高的可能机制。 |
| 关 键 词： | 离子束辅助沉积 MoS2－Ta复合膜 结构 抗氧化性 |
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