| 基于DSP的高精度激光干涉仪的研制 |
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| 引用本文： | 王丽华,曲兴华.基于DSP的高精度激光干涉仪的研制[J].自动化仪表,2009,30(10):69-71,75. |
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| 作者姓名： | 王丽华 曲兴华 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，天津市应用基础及前沿技术研究基金资助项目 |
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| 摘 要： | 当前激光干涉仪的信号处理系统主要采用单片机技术和4细分辨向电路,存在硬件电路复杂、易受外界干扰、难以实现复杂算法等问题.因此,提出了将DSP技术引入到激光干涉仪的信号处理系统中,设计了一种用于处理干涉条纹信号的专用电路.具体研究了改进的8细分算法,并给出了系统的主要程序.实验结果表明,基于DSP的激光干涉仪具有电路简单、功能强大等优点,进一步提高了激光干涉仪的测量精度和分辨力.
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| 关 键 词： | 精密测量 纳米位移 数字信号处理 激光干涉 细分算法 |
Research and Development of Highly Accurate Laser Interferometer Based on DSP |
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| Wang Lihua,Qu Xinghua.Research and Development of Highly Accurate Laser Interferometer Based on DSP[J].Process Automation Instrumentation,2009,30(10):69-71,75. |
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| Authors: | Wang Lihua Qu Xinghua |
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