非晶碳氢薄膜安全抑制网络结构研究 |
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引用本文: | 李芳,刘东平.非晶碳氢薄膜安全抑制网络结构研究[J].真空与低温,1999,5(4):198-201. |
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作者姓名: | 李芳 刘东平 |
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作者单位: | [1]辽宁师范大学化学系 [2]大连理工大学化工学院 |
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摘 要: | 利用完全抑制网络结构(FCN)对氢在晶碳(a-C:H)膜组成进行模拟计算,得出形成质密a-C:H膜条件是H、SP^2C和SPT^3C在其三元相图中应在一个三角形区域内。大量实验数据表明,模拟结果与实验结果相当吻合。在a-C:H中主要存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构,它们相对含量公式理论计算得出。
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关 键 词: | 氢化非晶碳膜 安全抑制 网络结构 FCN |
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