首页 | 官方网站   微博 | 高级检索  
     

非晶碳氢薄膜安全抑制网络结构研究
引用本文:李芳,刘东平.非晶碳氢薄膜安全抑制网络结构研究[J].真空与低温,1999,5(4):198-201.
作者姓名:李芳  刘东平
作者单位:[1]辽宁师范大学化学系 [2]大连理工大学化工学院
摘    要:利用完全抑制网络结构(FCN)对氢在晶碳(a-C:H)膜组成进行模拟计算,得出形成质密a-C:H膜条件是H、SP^2C和SPT^3C在其三元相图中应在一个三角形区域内。大量实验数据表明,模拟结果与实验结果相当吻合。在a-C:H中主要存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构,它们相对含量公式理论计算得出。

关 键 词:氢化非晶碳膜  安全抑制  网络结构  FCN
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司    京ICP备09084417号-23

京公网安备 11010802026262号