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| Pt／InP肖特基二极管气敏特性的研究 | |
| 作者姓名： | 田敬民 |
| 作者单位： | 西安理工大学微电子技术教研室 |
| 摘 要： | 本文研究了Ｐｔ／ｎ－ＩｎＰ肖特基二极管在氢、氧气氛下的Ｉ－Ｖ、Ｃ－Ｖ以及复阻抗谱特性．测试结果表明：在氢气氛下势垒高度降低，在氧气氛下势垒高度增加，对二者均有良好的敏感特性． |
| 关 键 词： | Pt／InP 肖特基二级管 气敏特性 |
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