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| 基于交流电桥的陶瓷基高温压力传感器设计与仿真 | |
| 作者姓名： | 贾鹏宇 熊继军 李晨 |
| 摘 要： | 为解决高温环境下压力精准测量的难题,提出一种基于交流电桥的陶瓷基高温压力传感器.通过厚膜技术在陶瓷基底上集成交流电桥,敏感电容作为桥路元件随外界压力的变化而变化,而电桥将这种电容信号变化转变为电压信号变化输出,这种方法避免了高温环境可能导致的敏感单元失效以及电容式传感器因寄生电容引起的测量不准确问题.仿真结果表明了该传... |
| 关 键 词： | 高温压力传感器 敏感电容 交流电桥 Comsol分析 陶瓷膜片 |
