| 激光微束装置中的聚焦系统 |
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| 引用本文： | 朱延彬,马俊富.激光微束装置中的聚焦系统[J].中国激光,1991,18(5):337-340. |
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| 作者姓名： | 朱延彬 马俊富 |
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| 作者单位： | 华南师范大学量子电子学研究所 510631
(朱延彬)，华南师范大学量子电子学研究所 510631(马俊富) |
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| 摘 要： | 本文提出一种新的激光聚焦系统,用于激光微束装置能获得小于1μm的聚焦光斑。它由一个具有一定倍率的空间滤波系统和一组短焦距、长工作距离的聚焦物镜组成。文中最后给出了测试结果。
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| 关 键 词： | 微束装置 聚焦系统 空间滤波系统 |
| 收稿时间： | 1989/4/11 |
Laser focusing system in laser-microbeam |
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| Zhu,Yanbin,Ma Junfu.Laser focusing system in laser-microbeam[J].Chinese Journal of Lasers,1991,18(5):337-340. |
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| Authors: | Zhu Yanbin Ma Junfu |
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| Abstract: | In this paper a new laser focusing system is presented. Using this system in the laser-microbeam device, focal spot size of less then 1μm was easily obtained. This system composed of a spatial filter and a focusing objective lens with long working distance (l>9mm) and short focal length (f0≤3.25mm). Finally, the test results are given. |
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| Keywords: | laser microbeam device focusing system spatial filter system |
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